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??怂箍档ゾЧ杈г踩远饬糠桨?,主要由三坐标测量机、上下料库位,机器人及抓手,自动夹具,读码枪,自动测量控制系统等组成,实现晶圆的自动上下料,自动测量,数据自动保存及判定等功能。
主要应用在单晶硅晶圆的全自动测量,以及类似圆盘薄片零件的测量需求。
??怂箍抵圃熘悄馨嫒ㄋ?,并保留在未经事先通知的情况下更改信息的权利。